高阻尼空氣隔振系統(tǒng)MaxDamp

MaxDamp®將Gimbal Piston空氣隔振器與內(nèi)部防篡改粘性阻尼相結(jié)合，為此類應(yīng)用提供了額外的阻尼。MaxDamp雖然不能提供我們UltraDamp系列的主動(dòng)、最高阻尼，但當(dāng)需要較高阻尼時(shí)，它卻是一個(gè)好的選擇，其減振性能只略有減弱。MaxDamp適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高力、高速XY電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷。適用于半導(dǎo)體檢測(cè)、光刻機(jī)以及其他具有相對(duì)較高力的電動(dòng)工作臺(tái)的儀器。

優(yōu)點(diǎn)：

結(jié)合了自調(diào)平Gimbal Piston™空氣隔振器的優(yōu)勢(shì)，并具有高阻尼作用

非常適合具有機(jī)器人運(yùn)動(dòng)或電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷，可提供所需的隔振并主動(dòng)穩(wěn)定有效負(fù)載引起的運(yùn)動(dòng)

更快的工具吞吐量和更高的產(chǎn)量

從3 Hz開始的水平和垂直隔振

共振的最小放大（8-12 dB）

模塊化設(shè)計(jì)。可升級(jí)到Electro-Damp®主動(dòng)消振

特點(diǎn)：

• 更快的有效負(fù)載穩(wěn)定時(shí)間。

• LCD和半導(dǎo)體制造和檢測(cè)工具的生產(chǎn)率更快、產(chǎn)量更高。

• 在保持高隔振性能的同時(shí)，隔振表面有“更硬"的手感。

• 由氣流、噪音以及所產(chǎn)生的“機(jī)上"力引起的振動(dòng)較小。

比較GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平

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